تحليل EDS (مطيافية تشتت الطاقة)

بعد اصطدام شعاع الإلكترون العينة في SEM، تظهر إحدى أهم العلامات، وهي الأشعة السينية (X) المميزة. سابقا، في مقال “أساس تكوين الصورة في مسح المجهر الإلكتروني (SEM)”، أوضحنا أن هذه الأشعة هي سمة لكل عنصر ويتم استخدامها للتعرف على العناصر الموجودة في العينة. عندما يتم نقل إلكترون من الطبقة الخارجية إلى الطبقة الداخلية لملء الفراغ من الإلكترون المتناثر، ستنبعث فوتونات الأشعة السينية بطاقة مساوية لفرق الطاقة في الطبقتين. نظرا لأن اختلاف الطاقة في الطبقات المختلفة محدد بدقة ومعروف لكل عنصر، فإن طاقة الأشعة السينية المنتجة ستكون إحدى خصائص الذرة المنبعثة.