تحليل EDAX/EDS Energy Dispersive X-Ray Analysis يعد تحليل EDAX ، أو EDS ، أداة إضافية لأجهزة SEM لاكتشاف النسبة المئوية للعناصر في العينات الصلبة. يمكن لهذا التحليل الكشف عن نوع العنصر ووزنه أو نسبته الذرية باستخدام طاقة الأشعة السينية الفريدة المنبعثة من العينة.